CASA разработала два групповых стандарта, в том числе «Методы испытаний полупроводниковых материалов с помощью ультрафиолетовой фотоэлектронной спектроскопии».
2025-01-02
25 ноября, согласно соответствующему методу управления CASAS, комитет управления CASAS проголосовал за принятие двух групповых предложений по стандарту на пластины из нитрида алюминия, подробности следующие:
Секретариат разошлет призыв к редакционным группам действительным членам CASAS, чтобы сформировать редакционную группу для стандарта, и действительных членов CASAS просят обратить внимание на электронную почту Секретариата (casas@casa-china.cn).
Метод испытания ультрафиолетовой фотоэлектронной спектроскопии полупроводниковых материалов T/CASAS 055-202X использует анализатор ультрафиолетовой фотоэлектронной спектроскопии с низкой энергией и высоким разрешением для испытания ультрафиолетовой фотоэлектронной спектроскопии InAs, GaSb, Si, InP. Данный документ описывает метод испытания полупроводниковых материалов с помощью ультрафиолетовой фотоэлектронной спектроскопии, включая цель, принцип, требования, стандартные материалы, подготовку образцов, процедуру, обработку данных и отчет. Он применим к УФЭС-испытаниям материалов, широко используемых в полупроводниковой области.
T/CASAS 056-202X Метод испытания УФ-спектра эмиссионного выхода полупроводниковых материалов Испытание УФ-спектра эмиссионного выхода InAs, GaSb, Si, InP проводится с использованием анализатора УФ-спектра с низкой энергией и плавной регулировкой, а энергия диссоциации материала может быть получена путем открытия третьего корня УФ-спектра эмиссии фотоэлектронов четырех материалов, который может быть получен по энергии диссоциации материала IP. Настоящий документ описывает метод испытания выхода УФ-излучения для полупроводниковых материалов, включая цель, принцип, требования, стандартные материалы, подготовку образцов, процедуру, обработку данных и отчет. Он применим к испытанию УФ-эмиссионного выхода материалов, широко используемых в полупроводниковой промышленности.
